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專題文章 : 各式鍍鍋製作簡介與說明

  • 依運轉型式可分:公轉鍍鍋與公自轉鍍鍋。
  • 依擺放型式可分:正放式與背放式。
  • 正放式又可區分為兩腳型式、直丁式鍍鍋、或客製化型式。
  • 背放式又可區分為單層背放式與雙層背放式。
  • 依組立方式可分:一體成型、一分為三或是一分為四型式。
  • 依材質可分:SUS304 或 鈦材質鍍鍋。


公轉與公自轉說明

公轉型式公自轉型式

正放式 與 背放式 鍍鍋

正放式:Wafer從鍍鍋『內』部進行擺放背放式:Wafer從鍍鍋『外』部進行擺放

組立方式鍍鍋 (僅公轉鍍鍋適用)

一體成型公轉型式一分為三公轉型式

單層與雙層鍍鍋

公自轉『單層』正放式鍍鍋公自轉『雙層』背放式鍍鍋

正放鍍鍋晶片盤型式(兩腳)&(植丁)

兩腳正放式型式植丁型式