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六軸Wafer_Bonding

六軸Wafer_Bonding

Updated 2013-10-02 15:45:03

輕壓力Wafer bonding的應用主要集中在對壓力敏感的領域,如MEMS、光學器件、生物芯片、柔性電子等。

這些應用通常需要低溫、低壓的鍵合技術,以確保器件結構的完整性和性能。

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